薄膜微压力传感器在测量过程中压力直接作用在传感器的膜片上使膜片产生与介质压力成正比的微位移使传感器的电阻发生变化同时通过电子线路检测这一变化并转换输出一个对应于这薄膜压力传感器原理：溅射薄膜压力传感器也是利用电阻应变效应工作的，与传统应变式压力传感器属于同一原理。两者的主要差别制作工艺上。溅射薄膜压力传感器延
电阻式薄膜压力传感器原理：1、结构：电阻式薄膜压力传感器由几个部分组成，包括底座、紧固件、绝缘件、金属膜、线圈、放大器和输出电路等。2、原理：其工作原理是，金属薄膜被原理薄膜压力传感器是利用现代薄膜制备技术，在金属弹性基体上沉积薄膜应变电阻，因其具有精度高、蠕变性好、抗干扰力强等性能，目前已被广泛的运用在航空航天、机械制造、土木采矿等
传感器输入部分通过螺纹接口与被测介质相连，输出部分通过电连接器与显示仪表相连，从而实现压力检测。薄膜式压力传感器的敏感电阻是在净化间内，将金属电阻膜通过微电子工艺镀制在不薄膜压力传感器的基本构成如右图所示，一般由胶粘剂，PET,碳浆，垫片，尾部，银导质构成。当传感器受到按压，碳浆的电阻发生变化，系统测量传感器的电阻从而得到压力
