电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测物理量或机械量转换成为电容量变化的一种转换装置，实际上就是一个具有可变参数的电容器。电容式传感器广泛用于位移、角度、振(1) 结构简单，适应性强电容式传感器结构简单，易于制造，精度高；可以做得很小，以实现某些特殊的测量，电容式传感器一般用金属作电极，以无机材料作绝缘支承，因此可
一、实验目的了解电容式传感器结构及其特点。二、基本原理利用平板电容C=εA/d 和其它结构的关系式通过相应的结构和测量电路可以选择ε、A、d 中三个参数中，保持二个参数不变，而只改变其中电容传感器本身具有小功率、高阻抗、静电引力小、可动质量小、发热影响小的特点，并可进行非接触测量。硅电容传感器综合性能指标如非线性、过载、静压、可靠性等性能优于硅压阻传感器
(^人^) (1)高输出阻抗，较差的负载能力·电容传感器的容量受通用几何尺寸的影响限制通常只有几pF到几百pF,这使得传感器的输出阻抗非常高，尤其是在使用音频范围的交流电容式传感器是靠检测不同介电常数的被测物体所引起的电容值变化来感测物体的，所以基本上电容传感器可以
所以电容式传感器做成差动式结构后，在同样的位移相对变化时，非线性误差大大降低，而灵敏度比单极距电容传感器提高了一倍。2、变面积型电容传感器以平行板电容器为例的变面积型电容根据传感器的工作原理可把电容式传感器分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。1、变极距型电容传感器以平行板电容器为例，上极板固定不动，下极板为动极板，设初始时两极板
2．结构简单、适应性强电容式传感器结构简单，易于制造，易于保证高的精度，能在高温、低温、强辐射及强磁场等各种恶劣的环境条件下工作，适应能力强。尤其可以承受很大的温度变化根据电容式传感器的工作原理，分为三种类型：1、变极板间距的变极距型变极板间距型电容式传感器的特点：电容量与极板间距成反比。主要用于测量位移量。2、变极板覆盖面积的变面积型
