压力线性工作范围可以达到500 到1100mmHg。图3.5 传感结构的微加工技术原理图F-P 腔经常是连接到光纤的端面，通常，顶端的直径比光纤的直径要大，这说明了传感器进一步微型化的限制。然而，21 压力传感器主要根据原理分为压阻式、压电式和压磁式3 种。压阻式传感器压阻式传感器根据电阻率随受力变化而变化的原理制成，利用电阻的变化反映脉力的变化，原理简单、应用广泛，由
典型的MEMS压力传感器典型的MEMS压力传感器管芯(die)结构和电原理如图7所示，左是电原理图，即由电阻应变片组成的惠斯顿电桥，右是管芯内部结构图。典型的MEMS压力传感器管芯可以用来压力传感器、图像传感器等；按工作原理主要分为：物理传感器、生物传感器、化学传感器、生物电极传感器。医疗器械高精度NTC温度传感器。还可以按人体器官的
扩散硅压力传感器原理：被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻值发生变化，和用电子线路检测这一变化，并该实验测量误差小，教学内容丰富，可在高校物理实验中推关键词：气体压力传感器；数字血压计；心率；脉搏波中图分类号：O321文献标识码：A文章编号：1006—7167(2010)1
∪▂∪ 其电原理如图1所示。硅压阻式压力传感器其应变片电桥的光刻版本如图2片电桥的光刻版本如图2。MEMS压力传感器MEMS压力传感器MEMS压力传感器广泛应用于汽车电子：如MEMS压力传感器广泛应用于汽车电此外，李淑娟等[10]提出了一种采用光纤Bragg光栅(FBG)压力传感器和基于相位产生载波(PGC)的干涉式波长解调相结合的传感器系统，利用FBG的波长调制原理，通过调制与解调波长改变来显示
